■ 特徴

走査電子顕微鏡（SEM : Scanning Electron Microscopy）は、電子銃から出た電子線が試料に当たった際に発する2次電子の情報を検出することで、試料の表面形状や組成等を観察・分析できる顕微鏡の一種です。

・高倍率での観察が可能
・画像処理技術を使うことで、コントラストの良いイメージの生成が可能
・電子線の加速電圧を変えることで、広い範囲の材料、視野での対応が可能
・オプションをつけることで元素分析等の解析も可能

■ 装置仕様

装置の主な仕様は下記の通りです。

項目	値
視野	約3mm×2.5mm程度（最大）
分解能	8nm
サンプルサイズ	約30mm×30mm×5mm程度（最大）

■ 適用例

以下の用途でのご利用が可能です。

・表面観察
・断面観察
・膜表面観察
・粒径測定
・微小穴径測定

■ 観察例

・細管のスリット観察

細いステンレスチューブに加工されたスリットを観察した結果です。スリット断面の様子を観察できます。

・らせん形状の観察

ステンレス細管の外周にらせん形状をレーザーにて微細加工した結果の観察画像です。形状の様子や表面粗さを詳しく観察できます。

生物の観察

低真空状態で生物などの有機物の観察もできます。特別な表面処理なしに、生物そのものの様子をリアルに観察できます。