■ 特徴

原子間力顕微鏡（AFM : Atomic Force Microscopy）は、先端が尖った非常に微細な探針（カンチレバー）で試料表面をなぞり、検出される信号から、その形状や性質を測定する装置です。探針は、静止した状態の場合や高速に振動している場合があります。また、探針が試料を直接なぞる方法もありますし、非接触で原子間力を検出しながら測定するものもあります。高速に測定できる装置では、物質の変化をリアルタイムに観察できます。

・試料の表面構造や組成、物性（弾性率、粘弾性等）を測定可能
・ナノメートルオーダーの高い空間分解能
・物性の測定が可能
・オプションをつけることで元素分析等の解析も可能

■ 装置仕様

装置の主な仕様は下記の通りです。

測定範囲	100µｍ×100µｍ
高さ範囲	15µm
ビジョンシステム	CCDカメラ（AFMと同視野）

■ 適用例

以下の用途でのご利用が可能です。

・表面構造観察
・弾性率測定
・粘弾性測定
・力学物性分布測定
・構造ダイナミクス

■ 観察例

・薄膜観察

セラミック上のZnO薄膜観察像

・薄膜観察

金薄膜の表面観察像